真空退火炉的快冷操作

　　真空退火炉升温结束后，进入冷却阶段，是否采用快冷依工艺而定，如果需要进行快冷，那么可以按照以下流程来操作。

　　1、按真空退火炉工艺要求调整充气压力表的上、下限，调整风机控制压力表的上、下限，在无纸记录仪上调好风机启动温度。
　　2、按步骤关闭各真空泵、阀。扩散泵阀→扩散泵→预抽阀→真空阀→罗茨泵→滑阀泵。
　　3、按“充气阀”、“确定”，充气阀打开，向真空退火炉炉内充入高纯的N2或Ar(纯度≥99.999%)当炉内压力接近充气压力上限时，关“充气阀”，打开“微充阀”，直到充气上限为止。
　　真空退火炉进入冷却阶段时，如果需要快冷，那么操作人员一定要事先掌握好操作流程，同时严格按照步骤要求来进行，确保能够快速达到冷却的效果。